廢氣處理靜電除塵器通常設置在濕式脫硫裝置后，脫硫后飽和煙氣中攜帶大量水滴，在通過高壓電場時被捕獲，能夠減小石膏雨形成幾率，同時對于收集微細顆粒物PM2.5酸霧等有較好的效果，煙塵排放濃度可以達到≤10毫克/立方米。

   廢氣處理靜電除塵器經過荷電、收集和清灰三個階段。干式和濕式煙氣環境不同，直流高壓電使陰線附近空間氣體電離，粉塵顆粒荷電后在電場力作用下移動并沉積在集塵陽表面，廢氣處理靜電除塵器用集塵陽表面水膜或沖洗清除粉塵，用電除塵的方法分離氣體中的氣溶膠和懸浮塵粒，主要包括以下四個復雜而又相互有關的物理過程：（1）氣體的電離。（2）氣溶膠、懸浮塵粒的凝并與荷電。（3）荷電塵粒與氣溶膠向電移動。（4）水膜使板清灰。

   在廢氣處理靜電除塵器的陽和陰線之間施加數萬伏直流高壓電，在強電場的作用下，電暈線周圍產生電暈層，電暈層中的空氣發生雪崩式電離，從而產生大量的負離子和少量的正離子，這個過程叫電暈放電；隨煙氣進入廢氣處理靜電除塵器內的塵（霧）粒子與這些正、負離子相碰撞而荷電，荷電后的塵（霧）粒子由于受到高壓靜電場庫侖力的作用，向陽運動。

   廢氣處理靜電除塵器與干式靜電除塵（霧）器工作原理相同，都是向電場空間輸送直流負高壓，通過空間氣體電離，煙氣中粉塵顆粒和霧滴顆粒荷電后在電場力的作用下，移動到收塵板（集電），從而被收集在收塵表面。干式靜電除塵（霧）器利用振打清灰方式將收集到的粉塵震落到灰斗中，而廢氣處理靜電除塵器則是通過收集煙氣中的霧滴顆粒，在收塵表面形成溢流而將粉塵沖洗到灰斗（水灰斗）中。

   廢氣處理靜電除塵器設置在濕法脫硫裝置后，脫硫后飽和煙氣中攜帶大量水滴，在通過高壓電場時被捕獲，能夠減小石膏雨形成的幾率，具有阻力小、分風均勻、運行穩定、除塵效率高等特點，對被捕集粉塵的適應性更為廣泛，同時在入口處增設了適當的預荷電電，能用較短的電場達到較高的除塵效率，整個電場牢固可靠，安裝、調整、維護使用方便，是中小型企業理想的除塵設備。